介绍ReltronICS1000PEM光子发射显微镜系统是模块化的结构，它实现了人性化的操作和非凡的测试精度。在***IC失效位置，正面和背侧观察方面ICS1000PEM几乎重新定义了光子发射显微检测法，它无比的简单，有效和***，是适合我们大家使用的***工具。应用l栅氧化层漏电lp-n结漏电l热电子效应lCMOS闩锁效应lEOS/ESD损伤l饱和MOS器件l模拟MOSFETs特点l前部照明的1.4兆像素增强型近红外相机;珀尔贴风冷到-45摄氏度l可***波长范围更广的近红外光显微镜lICS1000PEM软件可运行在WindowsXPPro或者VistaBusiness系统l软件控制的5波段照明l双通道吉时利源端和IV曲线测试软件可选择lInGaAs相机;珀尔贴风冷到-50摄氏度.l背部照明，深耗尽层相机;珀尔贴风冷到-100摄氏度.l4通道吉时利源端和IV曲线测试软件l热点侦测l显微镜自动对焦，不同倍率镜头切换和X-Y方向***l黑箱l防震桌l探针台l器件温度控制器：快速升温，降温样品台l器件高压输入（可达5KV）和IV曲线测试软件)