表面电阻率测试 探针台
表面电阻率测试探针台可测试12"8"6"晶圆或者LCD基片除了针对标准的2"~12"(50mm~300mm)基片表面电阻率的测试,我们欢迎客户定制,定制之前请按照以下步骤先确定规格:对于尺寸大于300mmx300mm的基片1.基片具体是哪一种材质?2.基片尺寸有多大?3.探针台选用下面哪一种移动方式?a.)基片固定,测试头可以水平移动和上下移动。基片越大,越节省空间。b.)基片可以水平移动,测试头只能上下移动。4.采用哪一种驱动方式?手动测试,半自动化,或者选用自动化。5.测试时是否需要在特定温度?对于需要高温环境的基片测试基片加热台通过PID控制,可以设定测试温度。加热台通过右边的真空鼠形垫控制做环形移动。在某个位置时,打开真空按钮,真空垫会被吸附在平板上,加热台同时被锁***置,这时,4针探头可以下压测试。测试完毕,测试头升起,样品台移动到下一个测试位置。1.***高测试温度需要多高?150,300,400,500摄氏度?2.测试头选择手动下压还是气动下压?3.是否需要保护盒?4.是否需要水冷箱?)