全新US无限远光学系统，明场/暗场/偏光观察方式。长工作距离平场物镜，分辨率高，方便工件快速移动。大型载物台可同时检查多个试样或6寸晶圆。适用于电子/半导体/钢铁/金属等行业科研，质检。技术规格光学系统UIS无限远校正光学系统反射光照明12V100W卤素灯泡（预定心型）明/暗视场反射镜可外加1个分光镜组（选配）转换使用观测方法明场、暗场、偏光、微分干涉（选配）镜筒超宽场正像倾斜式三目镜筒（F.N.24)换镜转盘五孔：明/暗场视野法用换镜转盘载物台行程：158x158mm能耗100-120/220-240V,1.9/0.9A50/60Hz体积509（宽）X843（长）X507（高）mm重量约40kg)