●采用双重闭环运动控制,电机在高速运动时具有***的***性能。●采用本公司开发的嵌入式模块控制电机,提高了电机响应速度，还简化了仪器与PC机的接口,PC机与仪器USB线与S端子线连接。●采用花岗岩平台，外观简洁大方。●表面光由***24组光源组成，每一组均为恒流源驱动，200极连绩可调●配有我公司专用M2D-CNC软件，大大提高测量效率。技术参数工作台金属台尺寸(mm)450*280玻璃台尺寸(mm)306*196运动行程(mm)250×150Z轴升降行程(mm)150(调焦)X、Y、Z轴数显分辨率0.0005mmX、Y坐标示值误差(μm):≤(3＋L/75)电机三轴运动速度100mm/s三维***精度0.001mm影像系统摄影机(日本***原装)双焦物镜（美国N***ITAR）倍率:0.7~4.5×视频总倍率:30~190x物方视场:10.6~1.6mm双焦物镜倍率：0.7~4.5X视频总倍率：30~190X)