样品变温台特点低噪声直流驱动隔离套装实现PA级电信测试精度隔绝水循环保护chuck底座可以在绝大多数探针台上加装易于装卸，无需转接部件规格真空吸附载物台的尺寸4,6,8,英寸直径，1英寸厚度Chuck平整度+-10微米控温范围常温到200摄氏度控温精度0.1℃温度稳定度100℃+-0.5℃200℃+-1℃从25℃开始升温时间100℃150℃200℃(4英寸chuck，单位为分钟：秒)2:003:305:00电源直流材质不锈钢需求供电110VAC,60Hz;220VAC,60Hz电力消耗4英寸chuck700W6英寸chuck1000W8英寸chuck1500W真空-250mmHg,7liter/min循环水20Liter/Min尺寸控制器350mm长x300mm宽x150mm高重20Kg附件高温配件，可以升温至300℃,400℃,500℃,600℃,700℃低温配件，可以冷却至5℃,-50℃,-65℃,或者低温至-196℃用于其他品牌探针台的安装转接口方形chuck更高温度控制精度更高温度均匀性加速升温配件水冷箱更低电流测试用的屏蔽装置液晶套装真空腔体测试屏蔽腔体测试平台带脚轮的仪器柜真空吸附的chuck镀金的chuck镀镍的chuck)