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净化室工程温湿度控制要求净化室工程的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,净化车间加湿,应考虑到人的舒适度感。但作为总的原则看,高品质净化车间,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,净化车间价格,所以必须有±0.1度的恒温。同时要求湿度值一般较低。因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度。由于高l级别的净化车间(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求,洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱,静压箱内设立通风机,这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间,使得维修空间变的狭小,有时甚至影响消防通道的使用。但是当使用FFU的时侯,净化车间的吊顶被分成了若干模块,每个模块就是一个FFU,这样我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求,从而大大降低了对该静压箱高度的要求。同时可以节省巨大的送、回风管,故可节省安装空间。尤其是在改造工程受到层高限制时,珠海净化车间,FFU有效地解决了这一问题。对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时较好不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此,选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。净化车间价格、珠海净化车间、聚辉装饰(查看)由东莞市聚辉装饰工程有限公司提供。东莞市聚辉装饰工程有限公司()是***从事“销售净化门窗,***钢制门,洁净钢制门,真空窗及双层玻璃窗”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供优质的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:刘小姐。)
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