SEC-(质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(质量流量计)E40E50适用气体种类*1非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)气体接触部材质SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢阀门型号非通电时关闭标准流量量程(N2相应F.S.)10/20/30/50/100/200/300/500SCCM1/2/3/5/10SLM20/30SLM流量控制范围(适于SEC系列)2〜100%F.S.流量测量范围(适于SEF系列)0〜100%F.S.)