多量程/多气体数字式质量流量控制器SEC-Z500系列(制造单位：HORIBASTEC有限公司)上海进申工贸有限公司通用型高端型号概要·适用多气体/多量程·高精度：保证±1.0%S.P.(设置点)·高速响应：满量程1秒以内(T98)搭载有可变PID·适用于微小流量到大流量(200SLM：SEC-Z540系列)·小型尺寸：适于面间距离106mm、1.125inch(英寸)气体面板、到50SLM同一面间距离的106mm·超清洁类型：接气部采用全不锈钢构造，其内面进行研磨标准处理·和模拟MFC之间的完全互换：与数字/模拟通信相对应(SEC-Z512MG/Z522MG)·适用于DeviceNet™接口(SEC-Z514/Z524MG)技术规格型式SEC(质量流量控制器)Z512MG(DeviceNet™模式：Z514MG)Z522MG(DeviceNet™模式：Z524MG)SEF-(质量流量计)Z512MG(DeviceNet™模式：Z514MG)Z522MG(DeviceNet™model:Z524MG)气体接触部材质SUS316L、内面研磨处理标准阀门型号NO:非通电时开；NC:非通电时；关闭标准流量量程(N2相应F.S.)#01:30/#1.5:55/#02:100/#2.5:175/#03:300/#3.5:550SCCM#04:1/#4.5:1.75/#05:3/#5.5:5.5/#06:10SLM#07:30/#08:50SLM(N2,H2,Ar,O2)＊2流量控制范围2〜100%F.S.响应速度1秒以内(T98)流量精度＊1±1.0%S.P.以内(25〜100%F.S.)±0.25%F.S.以内(2〜25%F.S.)直线性±0.5%F.S.重复稳定性±0.2%F.S.工作差压值50〜300kPa(d)#5.5and#06100〜300kPa(d)#07:200〜300kPa(d)#08：200(阀门C)/250(阀门O)〜300kPa(d)最大工作压力450kPa(G)耐压1MPa(G)外部泄漏率5×10-12Pa・m3/s(He)使用环境温度5〜50℃流量设定信号数字：RS-485(F-Net协议)DeviceNet™：(SEC-Z514MG/Z524MG)模拟：0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)流量输出信号数字：RS-485(F-Net协议)DeviceNet™：(SEC-Z514MG/Z524MG)模拟：0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ))