质量流量控制器SEC-E40系列(制造单位：HORIBASTEC有限公司)适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号概要·适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制·适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。·低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号：SEC-E40MK3/E50MK3技术规格型号SEC-(质量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(质量流量计)E40E50适用气体种类*1非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)气体接触部材质SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢阀门型号非通电时关闭标准流量量程(N2相应F.S.)10/20/30/50/100/200/300/500SCCM1/2/3/5/10SLM20/30SLM流量控制范围(适于SEC系列)2〜100%F.S.流量测量范围(适于SEF系列)0〜100%F.S.响应速度1秒以内(T98)流量精度±1%F.S.直线性±0.5%F.S.反复性±0.2%F.S.工作差压值值(适于SEC系列)10SCCM〜5SLM：50〜300kPa(d)10〜30SLM:100〜300kPa(d)使用压力(适于SEF系列)300kPa(G)以下耐压1MPa(G)以下外部泄漏率1×10-8Pa・m3/s(He)以下使用环境温度5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)流量设定信号0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100%F.S.流量输出信号0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)驱动电源+15VDC±5%50mA-15VDC±5%150mA3VA＋15VDC±5%50mA−15VDC±5%200mA3.9VA标准接头*21/4SWL类型)