ABRT超精密转台1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计2无刷无槽伺服电机直接驱动3突出的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应）4***的运动性能,误差小,无抖动5直联高精度旋转编码器6扁平结构设计7无机械接触台面直径100-200mm分辨率0.027-0.055arcsec双向重复***精度<1arcsec***精度<2arcsec异步轴跳<20nm异步径跳<20nmARMS超精密模拟仿真转台1.为超高精度运动而设计。2.无刷力矩电机直接驱动，可选更高速度和力矩电机。3.突出的速度稳定性。4.***的运动性能，误差小，无抖动5.有效载荷达230kg6.预装有集流环台面直径：146~260mm反馈分辨率：0.02~4arcsec双向重复***精度0.5arcsec***精度2.5arcsec速度波动率0.0001%ABRS超精密转台ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度***精度，***的速度稳定性以及***的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。特点:1.无刷无槽力矩电机直接驱动2.***的速度稳定性（无齿槽效应）3.***的运动性能，误差小，无抖动4.直连式高精度圆光栅反馈5.扁平结构设计6.气浮轴承，无机械接触台面直径：128~278mm反馈分辨率：0.036~0.18arcsec双向重复***精度：<1arcsec***精度：2arcsec异步轴跳：20nm异步径跳：20nmADR系列精密转台ADR系列直接驱动转台提供***的角度***和速度控制。应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。特点：1.无刷力矩电机直接驱动2.无齿槽设计提供***的速度稳定性3.***的运动性能，误差小，无抖动4.直连式高精度圆光栅反馈5.高精度机械轴承支撑6.***大载荷可达150kg台面直径：57~240mm反馈分辨率：0.036~13arcsec双向重复***精度：1arcsec***精度：2arcsec轴跳：0.5um径跳：1umAOM360D光电跟踪转台AOM360D******装置能够提供******的方位角和仰角值。***级品质的电机，轴承和传感器组合而成的机架装置保证了整体的***佳性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准，激光束指引，目标捕获及跟踪，照相机和光电望远镜的扫描和***。特点：1.所有轴均可360度旋转2.超***的***精度和双向重复***精度3.超低的轴向摆动及正交性4.无刷无槽力矩电机直接驱动5.高精度圆光栅反馈6.无齿槽设计提供***的速度稳定性7.热稳定性好于0.4arcsec/摄氏度8.负载直径可达500mm，负载质量可达50kg9.可以用于真空环境负载直径193-485mm负载质量20~50kg分辨率0.055arcsec双向重复***精度1arcsec***精度2arcsec方位角摆动3arcsec仰角摆动5arcsec)