APS100常压等离子自动清洗系统
APS100是本公司自发研制的常压等离子自动清洗系统。它为客户提供各类型的托盘式样品清洗方案。APS100的清洗速度高达100mm/s。用户可根据生产需要,设定不同的清洗方式,从而达到多功能及快速的生产效果。APS100主要技术指标清洗速度100mm/s清洗路线三维的(x-,y-,z-),可直行或环行的路线清洗距离12mm***大清洗范围400mm(L)*400mm(W)样品面积500mm*500mm使用气体压缩空气(CDA)或氮/氧混合物气压要求5–8bar,1500L/hr整机尺寸950mm(W)*789mm(D)*1450mm(H)电源要求210-230V,50-60Hz,15A)
香港恒进微电子有限公司
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