星弧涂层可根据不同的用途提供独特的阳极层离子束源。离子束源有圆形和矩形两种形式。星弧的直流电源确保这些离子束在真空镀膜时有***好的整体表现。技术优势....平行离子束..易于安装的法兰形式..增强的离子束中和能力..能量可到2000eV..***的直流电源应用领域......离子束清洗和刻蚀..离子束溅射..离子束辅助沉积技术参数形式型号尺寸(mm)离子束的均匀性放电电压(V)放电电流(A)工作真空度电源圆形120ф120x110&plu***n;5%***高到3000***高到110-1to10-4托EQ2R600200ф200x110&plu***n;5%***高到3000***高到1EQ2R600矩形40080x110x400&plu***n;5%***高到3000***高到4EQ2R60060080x110x600&plu***n;5%***高到3000***高到6KL3R100090080x110x900&plu***n;5%***高到3000***高到10KL3R1000网址：ararc-)