ST5030-SL·标准模型·工业规格·自动的X-Y平台·自动调焦·半导体和裂变产物探测尺寸500x750x650mm重量80Kg类型自动测量型号≤4"测量方法无连接的测量原理反射计特征测量迅速，操作简单非接触式，非***方式***的重复性和再现性2D/3D映射和造型自动机械活动控制电荷耦合器件照相机自动调焦活动范围300mmx300mm测量范围100Å~35㎛(DependsonFilmType)光斑尺寸40㎛/20㎛,4㎛(option)测量速度1~2sec./site(fittingtime)应用领域AllCapabilityofST2000&MorePrecisionMeasurementIntendedforLargeSizeWaferMeasure选择Referencesample(K-MACorKRISSorNIST)Anti-vibrationtable接物镜转换器QuintupleRevolvingNosepiecs焦点CoaxialCoarseandFineFocusControls附带照明12v100WHalogenLamp)