半导体测试手动探针台是专门为教学及科研机构量身定制的，具有良好的性能价格比，可测量pA级微小电流，配合测量仪器可完成标准MOS准静态C-V和高频（1MHz）C-V等测量要求。操作简便，性能稳定可靠，屏蔽效果好。客户名录：复旦大学微电子系、复旦大学微电子研究院、北京大学电子系、中科院化学所、大连理工大学、四川大学微电子系、济南大学物理系、哈尔滨工业大学、南京大学物理系、浙江大学硅材料******实验室、95992***。产品介绍技术指标1、承载台：移动范围：手动调节，X方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；手动调节，Y方向200mm，螺距0.8mm，精度0.01mm；手动调节，Z方向5mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；2、探针座：移动范围：手动调节，X方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；手动调节，Y方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm；手动调节，Z方向13mm，螺距0.25mm，精度0.002mm。3、显微镜：移动方向：Y，Z方向总放大倍数：光学显微镜***大200X连续可调；视频显微镜***大400X,（10”液晶显示器）光源：环形荧光灯，220vAC，9w4、电气指标：测量电流：可测量1pA电流测量试验要求：a.探针和chuck的漏电不大于1PA；b.探针和chuck的噪声不大于1PA；c.测量电压从-10V到+10V,测量仪器4156C5、加热台面指标：加热温度范围：常温－200摄氏度或更高温度控制精度：常温－100摄氏度：&plu***n;1摄氏度；100－200摄氏度：&plu***n;2摄氏度；晶片固定方式：压式固定和真空吸附)