无尘车间洁净度等级划分标准ISO14644的本部分ISO分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求.本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法.为划分等级,ISO14644的本部分于确定粒子浓度限值用的粒径范围.本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识.ISO14644的本部分为无尘车间和污染控制系列标准中的一个标准.除悬浮粒子洁净度之外,还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑.)