PR1 1500A1光刻胶公司点击了解更多,北京赛米莱德公司
光刻胶的组成部分光刻胶一般由4种成分组成:树脂型聚合物、光活性物质、溶剂和添加剂。树脂是光刻胶中占比较大的组分,构成光刻胶的基本骨架,主要决定***后光刻胶的基本性能,包括硬度、柔韧性、附着力、耐腐蚀性、热稳定性等。光活性物质是光刻胶的关键组分,对光刻胶的感光度、分辨率等其决定性作用。分辨率、对比度和敏感度是光刻胶的核心技术参数。随着集成电路的发展,芯片制造特征尺寸越来越小,对光刻胶的要求也越来越高。光刻胶的核心技术参数包括分辨率、对比度和敏感度等。为了满足集成电路发展的需要,光刻胶朝着高分辨率、高对比度以及高敏感度等方向发展。想要了解更多光刻胶的相关内容,请及时关注赛米莱德网站。光刻胶的主要技术参数1.灵敏度(Sensitivity)灵敏度是衡量光刻胶***速度的指标。光刻胶的灵敏度越高,所需的***剂量越小。单位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。2.分辨率(resolution)区别硅片表面相邻图形特征的能力。一般用关键尺寸(CD,CriticalDimension)来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。光刻胶的分辨率是一个综合指标,影响该指标的因素通常有如下3个方面:(1)***系统的分辨率。(2)光刻胶的对比度、胶厚、相对分子质量等。一般薄胶容易得到高分辨率图形。(3)前烘、***、显影、后烘等工艺都会影响光刻胶的分辨率。想了解更多关于光刻胶的相关资讯,请持续关注本公司。光刻胶的作用有什么?光刻是将图形由掩膜版上转移到硅片上,为后续的刻蚀步骤作准备。在光刻过程中,需在硅片上涂一层光刻胶,经紫外线***后,光刻胶的化学性质发生变化,在通过显影后,被***的光刻胶将被去除,从而实现将电路图形由掩膜版转移到光刻胶上。再经过刻蚀过程,实现电路图形由光刻胶转移到硅片上。在刻蚀过程中,光刻胶起防腐蚀的保护作用。光刻胶的核心参数是什么?以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多光刻胶的知识,欢迎拨打图片上的***联系我们。)
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