和超过滤器均用于洁净室末端，以其结构形式可分为有：有隔板过滤器、无隔板过滤器、大风量过滤器,超过滤器等。另外还有三种过滤器，一种是超过滤器，能做得到净化99.9995%。一种是型无隔板空气过滤器，具有作用，阻止***进入洁净车间，一种是亚过滤器，价格便宜以前多用于要求不高的净化空间。反冲洗时，由于核心和纤维丝的比重差，彗尾纤维随反冲洗水流而散开并摆动，产生较强的甩曳力；滤不对称纤维过滤器反冲洗料之间的相互碰撞也加剧了纤维在水中所受到的机械作用力，滤料的不规则形状使滤料在反冲洗水流和气流作用下产生旋转，强化了反冲洗时滤料受到的机械剪切力，上述几种力的共同作用结果使附着在纤维表面的固体颗粒很容易脱落，从而提高了滤料的洗净度，这样不对称纤维滤料同时又具有了颗粒滤料的反冲洗功能。过滤器检漏常用的仪器有：尘埃粒子计数器和5C气溶胶发生器。尘埃粒子计数器用于测量洁净环境中单位体积空气内的尘埃粒子大小及数目，可直接检测洁净度等级为十级至三十万级的洁净环境。体积小、重量轻、检测精度高、功能操作简单明了，微处理器控制，可贮存、打印测量结果，测试洁净环境十分便利。5C气溶胶发生器TDA-5C气溶胶发生器能产生一致的多种直径分布的气溶胶粒子，TDA-5C气溶胶发生器与TDA-2G或TDA-2H等气溶胶光度计配合使用时能提供足够的挑战粒子去测量过滤系统。)