磁控溅射法定义是什么？磁控溅射法是在高真空充入适量的Ar，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁）之间施加几百K直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使Ar发生电离。Ar离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。创世威纳——***生产、销售磁控溅射镀膜机，我们公司坚持用户为上帝，想用户之所想，急用户之所急，以诚为本，讲求信誉，以产品求发展，以质量求生存，我们热诚地欢迎各位同仁合作共创辉煌。磁控溅射镀膜机工艺（1）技术方案磁控溅射镀光学膜，有以下三种技术路线：（a）陶瓷靶溅射：靶材采用金属化合物靶材，可以直接沉积各种氧化物或者氮化物，有时候为了得到更高的膜层纯度，也需要通入一定量反应气体）；（b）反应溅射：靶材采用金属或非金属靶，通入稀有和反应气体的混合气体，进行溅射沉积各种化合物膜层。（c）离子辅助沉积：先沉积一层很薄的金属或非金属层，然后再引入反应气体离子源，将膜层进行氧化或者氮化等。磁控溅射镀膜设备是现阶段这种镀一层薄薄的膜商品，对比传统式的水电镀工艺而言，磁控溅射镀膜设备安全，可以遮盖，填补多种多样水电镀工艺的缺点。采用以上三种技术方案，在溅射沉积光学膜时，都会存在靶zhong毒现象，从而导致膜层沉积速度非常慢，对于上节介绍各种光学膜来说，膜层厚度较厚，膜层总厚度可达数百纳米。这种沉积速度显然增加了镀膜成本，从而限制了磁控溅射镀膜在光学上的应用。（2）新型反应溅射技术笔者对现有反应溅射技术方案进行了改进，开发出新的反应溅射技术，解决了镀膜沉积速度问题，同时膜层的纯度达到光学级别要求。表2.1是采用新型反应溅射沉积技术，膜层沉积速度对比情况。想要了解更多磁控溅射镀膜机的相关内容，请及时关注创世威纳网站。磁控溅射镀膜的特点1、靶材粒子能量高（比热蒸发高出1个数量级），所制备膜层更致密，与石英片结合力更高：2、一般备有辅助离子源，可以用来清洗石英片，清洗效果好；3、易于制备熔点高的材料；4、制备合金膜层，可以保证膜层材料比例与靶材相同；5、由于装有中和器，也可以用来制备绝缘膜层。创世威纳本着多年磁控溅射镀膜机行业经验，专注磁控溅射镀膜机研发定制与生产，***的磁控溅射镀膜机生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的***电话！！！)