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特种气体分类:标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀,稳定性良好和量值准确的气体,可分为单元标准气体和多元标准气体,目前标准气基本满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求,我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段,广泛应用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保等新兴产业领域,特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀,稳定性良好和量值准确的气体,它可以是单一的纯气体或高纯气体,也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一,故又称为气体标准物质。特种气体在集成电路领域的应用:特种气体是半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑材料,处于半导体产业链的上游,被称为半导体的“源”,主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体分类:标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀,稳定性良好和量值准确的气体,可分为单元标准气体和多元标准气体,目前标准气基本满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求,特种气体在太阳能电池中的应用:非晶硅太阳能电池在LPCVD沉积TCO工序用到DEZn、B2H6;非晶/微晶硅沉积工序用到SiH4、PH3/H2、TMB/H2、CH4、NF3等。灭菌特种气体可杀灭***(及其内孢子)、霉菌及***,因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。特种气体的储存注意事项:储存高压气体≥300m,液化气≥3000kgs时,储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处,需设有安全警示牌。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。特种气体分类:从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,随着、科学研究、自动化技术、精密检测(特别是微电子技术)的发展,特种气体成为工业气体市场规模增长新动力,广泛应用于半导体、LED、光纤光缆等新兴行业。特种气体种类:电子气体可以分为电子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。)
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