净化车间为何要控制温湿度净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、***空气、***等污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。洁净***室净化工程原理非单向流洁净法则：这种净化原理是将经过过滤和除1菌的干净气流送到洁净***室内，然后在室内扩散，和室内空气进行混合，将相同数量的气流经回风口排出，被排出的气流已经稀释了室内的污染空气，室内污染严重的空气就会被冲淡，终达到平衡状态。单向流洁净室法则：送风面到回风面的过程中，会经过过滤和除1菌，气流流经断面的时候不会发生变化，在送风静压箱和过滤器均衡压力和气流的作用下，整个洁净***室的断面上的流速都是均匀的，不会产生涡流。干净气流是充满着整个洁净***室的，而单向流洁净室原理则就是靠推出作用，把室内的脏空气排到室外，进而室内空气得到净化。)