善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于2015年7月份成立，公司注册资本500万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器******实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的***水平。科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级高精度检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。相关结果发表于近期的IEEEPhotonics。提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知，提高分辨力总是以牺牲焦深为代价的。目前主流的投影光刻设备，即使采用离轴照明等波前工程技术，焦深也仅维持在百纳米量级，加上由真空吸附翘曲、衬底平整度、抗蚀剂厚度等引起的基片表面起伏变化焦深范围进一步缩小，为了使基片表面始终保持在投影系统焦深范围内，保证***图形质量，对检焦系统提出了极高的要求。目前***常用的调焦调平方法还是基于光栅的光电测量方法。该方法虽然精度较高且易于实现，但该测量方法易受光源或反射率波动引起的光强变化的影响，从而降低检测精度。因此，研究新型的检焦方法和消除光强波动带来的测量影响具有重要的研究价值。善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于2015年7月份成立，公司注册资本500万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器******实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。我见过有的传感器使用单位，动辄要几个微米，甚至纳米级别的测量精度，测量速度还超高，问其真的有必要提这么高的要求吗？回答却往往是不必要，或者要求高余量大。但是大家要记住，没有无代价的指标提升，每一个高指标背后都是真金白银的付出。另外选择激光位移传感器时，要特别注意一点，各家厂商对参数的标注标准是不一样的。如德国品牌，通常标注的是真实参数，甚至是保守参数。而日系品牌，在标注时，会以平均后的结果为准。看参数表时，要仔细看看下面的小字，日系品牌超高的参数往往源自多次平均后的结果。光学测量会产生一些毛刺，通过平均的方法可以大大平滑科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级高精度检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。)