电子束蒸镀系统的特点*涡轮分子泵，串接机械泵或干泵*pocket电子枪*电子束源和基片遮板*性能好的开关电源，杰出的消弧性能*自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器*膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件*旋转样品台，提供高均匀性*带观察视窗的腔门，便于放片/取片*PC全自动控制，具有高度的可重复性*Labview软件的计算机全自动工艺控制控*多级密码保护的***访问设计*EMO保护以及完全的安全联锁以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多电子束的知识，欢迎拨打图片上的***联系我们。)