洁净厂房的竣工验收合格，并经核实批准后，按要求进行功能验收，功能验收是在“静态”进行测试，其主要测试内容如下：1检测空气洁净度等级;2生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;3洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;4检测自净时间;5检测洁净室(区)的密闭性测试;6测定照度;7测定噪声级;8需要时，确认和记录气流形式和换气次数;9其他需要进行的其他检测项目。微电子C/R建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来，产品也就能更快达到这市场。许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而“钱”将成为一个很重要的考虑因素。一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致到大的损失。C/R的拥有者和设计者的能力为改变一C/R的关键，所以他们从不将一开始的设计定型。C/R很怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式C/R而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板，这类型的天花板优点为，放置方式并没有严格的限制。C/R之墙壁还有一种是以薄钢制成，但必须在表层涂上一层保护层，否则亦会腐蚀，它并不容易电镀，而在表层涂上的保护层会变得易碎，很容易剥落，但若选择高质量的不锈钢，就不必涂上保护层7，而使用玻璃作的C/R会使得房间的光线大增，以及美观，但必须涂上一抗紫外线的障碍物，且可以视觉互通，较不会产生幽闭恐惧症。)