对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室，由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低风速的可行性。在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范）都是这样规定的垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s水平平行流（层流）洁净室≥0.35m/s噪声控制光学微电子行业净化工程设计方案分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初***低的，可以选用柜机FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。净化工程中空气净化处理方案●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚空气过滤器代空气过滤器。●净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择，中效、空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。●净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量***物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。1、自动化控制，单人单吹风淋室系统采用PLC智能化的控制手段，控制面板上LED显示屏可正确显示风淋的运行状态、双门的互锁状态、风淋周期进度和开门状态。并设有光电感应器，单向通道风淋室，从非洁净区进入，关门后红外线感应到人就吹淋，吹淋后入门锁闭，只能从出门走出风淋室；2、单人单吹风淋室主板软键触按式时间继电器，LED显示及设置吹淋时间，范围在10-99s可调,可根据风淋室外部环境的差异调节吹淋时间；3、模块式结构，单人单吹风淋室箱体采用模块化设计方案；4、、高密封，采用进口电子元器件，运行性能稳定可靠，***的减噪静音装置系统及采用EVA密封材料，密闭性能高。)