喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。总之，由于水环泵中气体压缩是等温的，故可以抽除易着火、易暴的气体。②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③蒸汽喷射真空泵：以蒸汽作为工作介质的饿喷射真空泵干泵：国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。罗茨泵与前级泵抽速之间的关系罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系，主要取决于容积效率和罗茨泵许可的压力差。如果容积效率低，则罗茨泵机组的有效抽速将会明显下降。主动轴传递的扭矩较大，轴要有足够的强度和刚度，轴与转子要固结牢靠。如果罗茨泵的压力差超过许可的很大压力差，由于压缩功将使转子过热膨胀，而会被卡死。因为泵壳易于向周围环境散热，仍然是不太热的。罗次泵大允许压差范围在40-100hPa，在较高的压力范围（150hPa）时，允许的压力差稍高，因为被抽气体量多谢，改善了转子的冷却。由于压差的增加，必将引起所需功率也要增加。在罗茨泵的出口管道设置专用的气体冷却器，这时许可的很压差可以增加，因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。在真空和高真空范围内，抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小，则压缩比降低，故抽速比多选择5:1。水环真空泵原理与优缺点分析水环真空泵的原理：泵体充满适量的水作为工作流体。当叶轮沿图中所示方向顺时针旋转时，水被叶轮甩出。由于离心力的作用，水形成了一个厚度大致相等的闭合环，这是由泵室的形状决定的。水环的上部正好与叶轮轮毂相切，而水环的下部正好与叶尖接触(实际上，叶片有一定的穿透深度)。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。此时，在叶轮轮毂和水环，之间形成一个新月形空间，该空间被叶轮分成几个叶片数量相等的小腔。如果叶轮的上部是0作为起点，当叶轮旋转180之前，小腔的体积由小变大，并与端面上的吸入口连通。这时，气体被吸入，当吸入结束时，小腔从吸入口被阻塞。当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，气体被压缩;当小腔与排气口连通时，气体从泵中排出。)