义乌多弧离子镀膜机厂家在线咨询
真空镀膜机给物件镀膜,为什么要在真空状态下进行?真空镀膜机已经广泛应用于生活中,大家对它也是耳熟能详,也了解他的作用和用处,包括他的应用领域,但是很多人却不太了解,真空镀膜机在给物件镀上一层膜的时候,为什么要选择在真空状态下进行:大家都知道物件镀膜在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜,事实上,如在压力不够低(或者说真空度不够高)的情况下同样得不到好的结果,比如在10托数量级下蒸镀铝,得到的膜层不但不光亮,甚至发灰、发黑,而且机械强度极差,用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层***。蒸镀必须在一定的真空条件下进行,这是因为:(1)较高的真空度可以保证汽化分子的平均自由程大于蒸发源到基底的距离。由于气体分子的热运动,分子之间的碰撞也是极其频繁的,所以尽管气体分子运动的速度相当的高(可达每秒几百米),但是由于它在前进的过程中要与其它分子多次碰撞,一个分子在两次连续碰撞之间所走的距离被称为它的自由程,而大量分子自由程的统计平均值就被称为分子的平均自由程。(2)在较高的真空度下可以减少残余气体的污染在真空度不太高的情况下,真空室内含有众多的残余气体分子(氧、氮、水及碳氢化合物等),它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短;它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应;它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜;它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命;它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行。光学镀膜技术在过去几十年实现了飞快的发展,从舟蒸发、电子束热蒸发及其离子束辅助沉积技术发展到离子束溅射和磁控溅射技术。近年来在这些沉积技术和装备领域的主要技术有以下三点:一、渐变折射率结构薄膜技术与装备:渐变折射率结构薄膜技术与装备:已经有大量研究工作已经证实Rugate***面型薄膜结构和准Rugate多种折射率薄膜结构通过加强调制折射率在薄膜厚度方向上分布,能设计出非常复杂的光谱性能,(部分)消除了薄膜界面特征,(部分)消除界面效应,如电磁波在界面上比薄膜内部更高密度的吸收中心和散射,也可以增加了薄膜力学稳定性。二、磁控溅射光学镀膜系统以LeyboldHelios和ShincronRAS为代表,磁控溅射技术及装备在精密光学领域和消费光电子薄膜领域占据越来越大的份额。磁控溅射薄膜沉积过程控制简单,粒子能量高,获得的薄膜结构致密稳定。三、间歇式直接光控:间歇式直接光控:以LeyboldOptics公司的OMS5000系统为代表,光学镀膜过程中越来越多地使用间歇式信号采集系统,对镀膜过程产品片实现直接监控。相对于间接光控和晶控系统,间歇式直接光控系统有利于降低实际产品上的薄膜厚度分布误差,可以进一步提高产品良率并减少了工艺调试时间。多弧离子真空镀膜机的由来我国在真空镀膜行业,目前更多的应用都集中在装饰方面,对能有效地提高关键部件使用寿命机械功能薄膜的制备设备、工艺及应用研究方面还远远落后于国外***水平。同时,装饰镀方面也逐渐向耐磨和装饰双重功能的方向发展,之前的离子镀膜机已体现出不能满足装饰镀要求的问题。本技术的研发成功,将打破国内机械功能耐磨减摩薄膜完全依靠国外技术的被动局面;对提高我国装备制造业的技术水平和真空离子镀的技术发展都是一个非常好的示范作用。另外,将制备的耐磨减摩薄膜应用于其它关键部件中,起到了非常好的节约能源和提率的示范作用,可替代部分原来电镀的工艺,对环境保护起到很好的作用。目前,国际上机械功能硬质薄膜(特别是刀具用膜层)大多采用阴极电弧沉积技术,但阴极电弧沉积存在的主要技术问题是所制备的膜层表面不够光洁,有较多的颗粒,影响应用性能;特别是国内制造的阴极电弧沉积设备颗粒问题尤为严重。在此技术基础上引入磁过滤技术,虽可解决表面沉积的颗粒问题,但沉积效率只有原来的1/10左右,并且沉积面积小,从而使生产周期长,制造成本高,不适合大批量镀膜生产应用。而磁控溅射技术所制备的膜层表面光洁、细腻,沉积速率适中,能均匀地大面积沉积薄膜。但磁控溅射技术也存在离化率低(一般在10%),所制备的膜层在硬度、耐磨性及结合力上不如阴极电弧技术所制备的膜层;在进行化学反应性镀膜(如TiN、TiO2)时,由于金属粒子的离化率低、反应活性差,必须过量通入反应性气体,造成磁控靶面的毒化(化学反应),引起蒸发速率急剧降低等一系列雪崩式后果,使得磁控溅射反应镀膜存在着不稳定性和不可控性。不同类型镀膜机的适用范围是怎样的呢?磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等。磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等。光学镀膜设备:应用于光学薄膜领域,如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如液晶屏、等离子屏等。触摸屏连续式镀膜生产线:应用于触摸屏领域,如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等。磁控中频多弧离子镀膜设备:应用于硬质涂层,如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。PECVD磁控生产线:应用于集成电路制造,如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。蒸发式真空镀膜设备:应用于在装饰饰品上,如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。低辐射玻璃镀膜生产线:应用于建筑玻璃方面,如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。抗反射导电膜连续磁控溅射生产线:应用于电子产品领域,如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等。)