洁净室的冷热源机组：a.电驱动的压缩式制冷机电驱动的压缩式制冷机主要以氟里昂、氨为制冷剂，民用制冷机大部分采用氟里昂作为制冷剂。按冷却介质的种类可分为空气冷却和水冷却两种形式，按压缩机种类可分为活塞式、螺杆式、离心式三种形式，按提供的冷源或热源情况可分为冷水机组和热泵机组两种形式。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围为580～1163kW。动力及照明工程:①与土建密切配合做好预留工作。②电线管的下料采用无齿锯，克服管口毛刺。管口设置护口。工程中实际应用的消声器往往根据需要采用综合型的阻抗复合式消声器。③敷设的导线便于检查、更换。在穿线时将管内的杂物清除，除与设备连接处，管内不留接头。④电缆敷设前必须核对设计无误，用500V摇表测量绝缘电阻，合格后方可放线，并逐一挂上写有电缆编号、规格、型号的标志牌。管道通过围护结构时，首先要有良好的固定结构，在使用过程中不得晃动或移位，以保证密封效果。安装***和密封处理应有机结合。在金属墙板上开的每个孔的周边均应附***框架，大型风管的加固应防止前后左右移动。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。管壁与金属墙板之间的缝隙应用胶水或橡胶海绵填塞，然后用密封胶处理。洁净室的内部装修所用的材料和组件应符合设计要求，不符合要求的外购件应符合质量和标准。金属壁板应符合标准规范要求，并应有质量保证书和性能试验报告，包括防火报告和合格证。为了满足集成电路日益精细的加工要求,各国在微污染控制技术领域内投入了可观的人力、物力进行系统研究,取得了大量科技成果,涌现了一批高科技产品,诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及ISO3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用,大大降低了污染。管壁与金属墙板之间的缝隙应用胶水或橡胶海绵填塞，然后用密封胶处理。在防微振领域,从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面独特的建树,为集成电路生产提供了一个优良的环境。)