氦质谱检漏仪的进展经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。集中体现在如下几个方面：（1）便携式：近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如：瑞士、日本采用改变分子泵转速来达到此目的，且提高检漏灵敏度。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸枪检漏提供了良好的条件。氦质谱检漏仪原理一般真空容器法检漏系统由产品充气回收设备、真空容器、漏率标定设备、真空获得设备、氦质谱检漏仪等设备构成，如图1所示。传统的真空检漏方法是先将航天器安装在真空容器中，将充气管路和航天器被检管路系统连接好，保证连接处的漏率小于被检系统漏率的百分之一，密封好真空容器，通过真空机组将真空容器抽至氦质谱检漏仪的工作真空度（一般优于10-2Pa），用氦质谱检漏仪测量真空容器的氦本底漏率显示值I01。打开标准漏孔，测量真空容器中的氦稳定漏率显示值I1。关闭标准漏孔，用真空机组将真空容器抽至稳定的氦本底漏率显示值I02。氦质谱检漏仪的优势体现在哪些方面？灵敏的部件确保了精准的监测效果根据各种检测仪器的日常操作模式和应用情况进行分析，发现氦质谱检漏仪其本身拥有着的检测灵敏度可以精准的***，并且实现复杂结构之下的漏孔***测量，并且***的商家在对产品进行研发时以更高的精准度和产品能力，确保这种设备能够精准的反映真实***的状态，因此氦质谱检漏仪这种的检测能力促使，该种产品在我国更多真空设备的检查之中得到了广泛的应用；)