选择真空机组：(1)当使用一种深圳真空泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。(2)有的甚至真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。爱德华EH1200罗茨真空泵维修爱德华EH1200罗茨真空泵维修超高真空校准超高真空计是超高真空全压力测量的重要工具，为了得到准确的测量结果，必须对真空计进行校准以保证在超高真空条件下应用的可靠性。此外，对于冷阴极电离规的非线性，尽管生产厂家作了线性处理，但如果不进行校准仍会带来很大误差。热阴极电离规在线性测量范围内要达到测量精度也需要进行校准。校准是在专门的超高/或极高真空校准系统中进行的。真空度不足原因分析：（1）水环工作不稳定。如果进水管发生了结垢以及进口电磁阀出现了堵塞情况的时候，泵工作水供应就会因此而出现不足，从而使得水环工作不稳定，此时泵由于偏离设计工况而运行，必然会存在出力下降的情况，进而导致系统真空度下降。应对方法是清除进水管结垢，并使进口电磁阀保持通畅。（2）进口单向阀失效。当阀片由于结垢、存在锈蚀后或发生卡涩吸不上去的时候，就会导致串气现象发生，即空气会从备用泵入口被吸入工作泵，从而使得泵功耗增加以及系统真空度发生下降。应对方法是清除阀片结垢或更换新的阀片。（3）密封不良。在轴端密封不良或密封失效的情况下，如果有外部空气被吸入了爱德华真空泵内，就会导致系统真空度发生下降情况，并伴随泵的两个进气管出现温度不相同等现象。维修处理：检查轴端，确保密封严实。有时密封水泄漏量会发生偏大的现象，如果误判是盘根压紧力不足所导致，进一步压紧盘根后，会导致摩擦力因此而增大，进而使得轴功率升高。此时真实原因可能是工作水量过大，所以压紧盘根不能盲目。拆解拆卸的工作场所一定要保持清洁，在净化车间内进行。在爱德华真空泵维修时，要完全清楚泵浦中的润滑油，同时还要考虑好如何处理废爱德华真空泵油的回收，并把爱德华真空泵油排除干净。泵浦拆卸时要用适当的工具，以免损坏零件等。拆卸时，个泵浦零件需妥善放好，并加以标示，以便组装。爱德华真空泵零部件精度较高，要注意零件表面的保护，防止划伤、碰伤等不良现象发生。在拆卸爱德华真空泵回油管时，要事先清理周围的污垢。拆卸后，回油管开口处用干净的塑料制品或石蜡制品堵住，以免杂质进入回油管内。同时注意回油管的标示，以便组装。在更换O型圈、油封等密封件时不应用尖锐的工具，避免损伤，O型圈组装时，注意密封圈不允许扭曲变形，要保证滑动过程中的润滑性能。安装油管接头，要注意拧紧力度适当，不应过紧。回油管道一般是铜材质制造而成，用力过度会导致油管滑牙、变形。安装转子等相对重的关键零部件，应当用支撑架或者其他工具支撑住，防止滑落导致损伤。)