泵主要由泵体（7）、转子（9）和旋片（8）等零件所组成（见原理示意图）。在泵体腔内偏心地装着转子，转子槽中装两块旋片，由于弹簧弹力作用及转子旋转所产生的离心力旋片紧巾腔壁，泵体中的进、排气只被转子和旋片分隔成两个部分，转子在腔内旋转，周期性地将进气口部分容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐压缩排气部分容积，将吸入气体压缩从排气阀（5）排出，因而达到抽气目的。被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。主真空泵的选择计算S=2.303V/tLog(P1/P2))