无尘车间净化技术的设备发展美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把***比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。空气净化工程***净化技术的“指导者”前空气净化已经被各行各业的人士所关注，随着经济的迅速发展，空气质量也在变化，所以净化工程成为人们注视的焦点。防静电产品如何检测？有哪些静电测试仪器？静电测量仪器（1）静电测试仪：a测量产品或者某个位置有多少静电.b测量静电消除器除除静电的性能（2）手腕带测试仪：测量手腕带是否有效。（3）手腕带在线监测仪：随时监测手腕带是否损坏和戴好。（4）***综合测试仪：可用于测量手腕带、防静电鞋是否有效，还可以测量***的综合电阻。（5）表面电阻测试仪：用于测量所有导电型、抗静电型及静电泄放型产品表面的阻抗或电阻。（6）系统监测报警仪：可随时监测工作流水地线与大地接触是否良好。无尘车间检漏试验工作程序5.3.1.检漏准备准备好检漏所需器材与待检区域的净化空调系统送风管道道平面布置图，并通知净化空调设备公司于检漏当日到场进行打胶及更换高xiao过滤器等操作。5.3.2.无尘车间检漏操作①检查气溶胶发生器中DOP溶剂的液位是否高于低液位，不足则应添加。②连接氮气瓶与气溶胶发生器，开启气溶胶发生器的温度开关，至红灯转换为绿灯，即表示到温（约390～420℃）。③将测试软管的一端呗在气溶胶光度计的上游浓度测试口，另一端置于被检测高xiao过滤器的进风侧（上游侧）[系统检漏可直接把DOP烟雾放入空调器内（注意不要被空调器内的过滤器吸附了）；因此，使用低污染值的绿色环保材料可使药厂洁净室的污染状态很低，这也是减少新风负荷，降低能耗的很好的途径。若DOP发生器较小，达不到规定的浓度，可放在被测高xiao过滤器的静压箱内，层流工作台可直接放入风机吸入口]，打开光度计开关，将测试值调节至“100”。)