显微镜的重要光学技术参数覆盖差由于盖玻片的厚度不标准，光线从盖玻片进入空气产生折射后的光路发生了改变，从而产生了像差，这就是覆盖差。显微镜的重要光学技术参数工作距离工作距离也叫物距，即指物镜前透镜的表面到被检物体之间的距离。镜检时，被检物体应处在物镜的一倍至二倍焦距之间。在物镜数值孔径一定的情况下，工作距离短孔径角则大。数值孔径大的高倍物镜，其工作距离小。工业测量显微镜的测量基础知识齐焦距离PFD聚焦时从物镜安装位置到合焦時检查物体表面的距离。PFD：ParFieldDistance倍率不同但是从物镜安装面到检查物体表面的距离不变，所以变倍率时不用重新对焦。焦点距离FD焦点距离指镜头（主点）到焦点的距离。FD：FocusDistance焦点深度DOF聚焦之后,聚焦位置前后移动,也能清晰的观察的前后移动范围。DOF：DepthOfFocus原子级显微镜可以说各有优势不同的原子级显微镜可以说各有优势。老牌的SEM(ScanningElectronMicroscope)可以获得很多样品信息，但能观测到的半径仍大于一些小半径原子；新式的STM(ScanningtunnelingMicroscope)此种显微镜的样品便不限制成针状，可用来看像的样品范围更大了；另外还有TEM(Tran***issionelectronmicroscope)，虽然分辨率很高，但样品要切成一片很薄的膜，技术上比较困难，而且会将样品结构***，价钱亦较昂贵。虽说原子解析技术不再被FIM独占，但目前能有与多的研究或实验都需要靠FIM才能做，像是单独原子，或单一原子团在特定的表面之原子运动过程。常用显微镜的原理、构造及使用方法原理显微镜镜筒的两端各有一组透镜，每组透镜的作用都相当于一个凸透镜，靠近眼睛的凸透镜叫做目镜，靠近被观察物体的凸透镜叫做物镜。来自被观察物体的光经过物镜后成一个放大的实像，道理就像投影仪的镜头一样；目镜的作用则像一个普通的放大镜，把这个像再放大一次。经过这两次放大作用，我们就可以看到肉眼看不见的小物体了。常用显微镜的原理、构造及使用方法如图，左边的透镜为物镜，右边的透镜为目镜。显微镜的目的是将微小的物体放大。所以，对于物镜来说，应该使物距放在物镜的一倍焦距与两倍焦距之间，为了看清物体，物距就不能太大。同时，物镜的焦点与目镜的焦点是重合的，经物镜所成的倒立放大的实像必位于物镜的两倍焦距以外，而为了让该像落在目镜的焦距以内，所以，目镜的焦距就必须大于物镜的焦距，这也是显微镜目镜的焦距应该大于物镜的焦距的原因。)