NR9-3000PYRD6光刻胶报价四、前烘（SoftBake）完成光刻胶的涂抹之后，需要进行软烘干操作，这一步骤也被称为前烘。前烘能够蒸发光刻胶中的溶剂溶剂、能使涂覆的光刻胶更薄。在液态的光刻胶中，溶剂成分占65％－85％。近年来，尽管光刻胶研发有了一定突破，但国产光刻胶还是用不起来。虽然在甩胶之后，液态的光刻胶已经成为固态的薄膜，但仍有10％－30％的溶剂，容易沾污灰尘。通过在较高温度下进行烘培，可以使溶剂从光刻胶中挥发出来（前烘后溶剂含量降至5％左右），从而降低了灰尘的沾污。同时，这一步骤还可以减轻因高速旋转形成的薄膜应力，从而提高光刻胶衬底上的附着性。在前烘过程中，由于溶剂挥发，光刻胶厚度也会减薄，一般减薄的幅度为10％－20％左右。PR1-1000A1NR9-3000PY负性光刻胶负胶NR9-3000PY被设计用于i线（365nm）***，可使用如步进光刻、扫描投影式光刻、接近式光刻和接触式光刻等工具。显影之后，NR9-3000PY展现出一种倒梯形侧壁，这可以方便地作单纯的LIFT-OFF处理。NR9-3000PY相对于其他光刻胶具有如下优势：-优异的分辨率性能-快速地显影-可以通过调节***能量很容易地调节倒梯形侧壁的角度-耐受温度100℃-室温储存保质期长达3年Lift-Off工藝應用領域：LEDs，OLEDs，displays，MEMS，packaging，biochips。濕法蝕刻，鍍干法蝕刻（RIE/IonMilling/Ionimplantation）附着力好Temperatureresistance=100°C耐高溫Temperatureresistance=180°CResistThicknessNR9-3000PY负性光刻胶负胶NR9-3000PY被设计用于i线（365nm）***，可使用如步进光刻、扫描投影式光刻、接近式光刻光刻胶光刻胶组分及功能光引发剂光引发剂吸收光能（辐射能）后经激发生成活性中间体，并进一步引发聚合反应或其他化学反应，是光刻胶的关键组分，对光刻胶的感光度、分辨率等起决定性作用。树脂光刻胶的基本骨架，是其中占比较大的组分，主要决定***后光刻胶的基本性能，包括硬度、柔韧性、附着力、***前后对溶剂溶解度的变化程度、光学性能、耐老化性、耐蚀刻性、热稳定性等。溶剂溶解各组分，是后续聚合反应的介质，另外可调节成膜。单体含有可聚合官能团的小分子，也称之为活性稀释剂，一般参加光固化反应，可降低光固化体系粘度并调节光固化材料的各种性能。)