复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（CleanTunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。并装局部无尘室（CleanSpot）：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用。1、无尘室厂区总图布局应考虑产品工艺特点和防止交叉污染,按生产、行政、生活和辅助区等合理布局,不得互相防碍。2、无尘室厂区功能设施一定要配套,必须有保证产品生产所需的生产、仓库、科研、办公及水、电、汽、气公用工程等主要功能厂房设施以外,还应配备三废处理池、废渣料与垃圾临时堆放场地、停车库、机修、饭堂等辅助设施.辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。发菌量工作人员产生的污染1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。3、设置有无尘室的厂房与厂外周围环境的相对位置及与厂内其它厂房设施之间的相对位置,适用于远离产生粉尘、烟雾、有***体的污染源,在污染源上风侧,并有一定防护距离的原则。发菌量工作人员产生的污染1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种***。5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。洁净室吸尘器是无尘厂房、车间专用的强力真空专用吸尘器，可迅速、便捷、地完成清洁工作。特点：超高过滤效果，可有效的除去对呼吸气管造成***的***粉尘，减少呼吸***的发生。当你使用专用吸尘器时，可以减少您清洁厂房的次数，因为它不会二次扩散灰尘，并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴，任何角落皆可轻松清洁干净。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。较强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧，符合***工学，操作时不会腰酸背痛,减少***不适。专用吸尘器可专门针对防尘爆及***粉尘，如石棉，铅等物质，美国太空总署特别使用专用专用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。)