相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。1级：主要应用于电子工业，这是目前对净化工程要求的环境，集成电路要求的精度要达到亚微米。随着微电子工业技术领域的突飞猛进，对洁净室的要求越来越高。及时生产间内的例子直径仅有1微米，也会使产品寿命受到影响。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、、尖方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。而随着净化技术的发展，建设净化车间的技术含量也越来越高，非***人士不能也。除了在生产领域，净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合，为人们提供更洁净的生活空间设计人员要确保洁净室工程质量，还必须对***洁净室施工现场做认真地调研、考察，否则，设计出来的洁净室工程质量就会大打折扣。如在对某***洁净室做含尘浓度检测时，突然发现尘浓普遍急剧上升，超标严重。工程人员首先想到的是过滤器风口漏，经检查，虽然发现确实有漏，但和检测出的尘浓数量不相当。根据经验判断，这是新风口设计不当，由于设在5层楼顶上向下的新风口，其下方正好有一垃圾站，而该垃圾站有定期烧垃圾的习惯，大量浓尘正是来自新风口下方冒出的浓烟。这样的新风口位置，必然产生危及室内洁净度的结果，无论后期施工质量如何，其洁净室的工程质量也很难达到要求，实际上这与“规范”中要求的新建洁净***室应远离污染源的总体要求是相违背的。设计是洁净室工程质量的基础，******室净化工程的设计是闭门造车，需要不断解决问题以满足洁净室工程质量要求，故设计是洁净室工程质量的一道保障。如在对某洁净室改扩建工程检查中发现，原设计的风管尺寸在主体大楼楼层高度受限制的吊顶层内根本无法施工，后经施工方与设计人员和建设方的协调，在不影响工程质量的前提下，将风管尺寸从方形变为扁形，既满足了风量要求，又保证了施工吊顶高度的要求。洁净室施工质量控制可以分为3个阶段：即准备阶段、施工阶段和验收阶段。(一)准备阶段质量控制要点认真做好图纸会审和技术交底充分领会设计意图，做好图纸会审和技术交底工作是保障洁净室施工质量的重要技术环节，发现和解决在施工中难以操作的技术难题，为保证洁净室施工质量打下坚实的基础。施工中会出现各种矛盾，这需要施工方与设计、建设方合作，在保证洁净室施工质量的前提下进行合理变更。)