ffu洁净棚常用解决方案“本信息长期有效”
三十万级洁净棚产品结构:1、主框架材料:主要为铝型材框架、不锈钢框架、碳钢喷塑框架构成。框架稳固、美观大方、不生锈、不产尘2、四周隔断:主要为防静电网格帘、亚克力板材、PVC垂帘等。防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化。3、风机单元过滤模块FFU:装配专用的离心风机60000小时无故障运转,,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级变速等特性,风机质量可靠加上独特的风道设计,大大提高了风机的效率,过滤器为H1399.99%@0.3um以上的,满足百级到万级别使用环境。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。4、覆顶盲板:主要有不锈钢板、碳钢板材喷塑、镀铝锌板材、静电帘、亚克力板等。5、照明灯具为洁净室专用的无尘净化灯。6、控制部分:根据使用要求,主要有启停开关控制、单组控制盒、触摸屏控制等。7、根据使用要求可选装万向脚轮(方便移动)。8、提高净化级别容易,扩展性强,且重复利用价值高ffu洁净棚的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。ffu洁净棚的设计概念功能性定义中已经提到“把主要生产工序控制在较小的环境内也是洁净工作棚设计的1佳选择”其实这就是洁净棚的应用概念,***少,控制主要工序的关键部分,由于是控制的关键点较高所以一般设计洁净工作棚的洁净等级也很高,一般以ISO5级,4级居多,也有少数使用6级的。②千级净化棚与土建式或装配式百级洁净室相比,***少,见1效快,安装简便,运行费用低。深圳市源泰尔洁净室设备有限公司于2014年10月份在湖北武汉正式成立。为了方便服务华中地区客户,我司在光谷葛洲坝太1阳城自购办公楼为员工改善办公环境。ffu洁净棚(CB)的配制方式1、框架:以工业铝型材、不锈钢方管、烤漆铁方通作为主体结构。框架稳固、美观、不生锈、不产尘。2、防静电PVC网格帘:四周采用防静电PVC网格帘/有机玻璃,防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化。3、FFU送风机组:釆用***离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性。虽然可以提高风速来弥补机器设备和人员的干扰来保持原有的洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度的同时,能以***适当的风速供应,以达到适当的风速来达到经济环保的效果。风机质量可靠,工作寿命长,加上独特的风道设计,大大提高了风机的效率、降低了噪声,内部净化级别可达100-100000级;特别适用于车间内局部净化级别要求高的区域,如流水线作业、实验室、无菌室等区域。4、内部釆用洁净室专用LED净化灯,亮度高,不易产尘,维护方便。)
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