预抽真空回火炉是一种保护气氛热处理炉。真空回火炉对炉内的氧化气氛排除的方法有充气法和换气法。充气法是对炉膛连续充、放气，赶出炉内的氧化杂质气体，使炉内的气氛纯度达到要求。换气法是利用机械泵对炉内的氧化气体抽出，再充入保护气体，然后再抽出不纯气体，充入保护气，这样反复进行几次直到炉内气体纯度合格。高合金钢真空回火的真空度选用133MPa对应炉内的残氧量为0.132%。在热处理硬化金属时，金属会加热到可以使金属中的元素变成溶液的温度；在此之前，金属晶格结构中的缺陷是“提供”或可塑性的主要来源。热处理通过将金属带入具有细颗粒的可靠溶液中来强化金属，从而解决了这些缺陷。将金属彻底加热到合适的温度以产生固溶体后，将其快速淬灭以将颗粒捕获在溶液中。在沉淀硬化中，将杂质颗粒添加到金属合金中以进一步提高强度。齿轮简单的渗碳热处理工艺是在渗碳后降温至淬火温度，经保温后直接淬火。采用此方法容易使材料晶粒粗大，脆性较大，工件***应力大，只能承载强度较小的小模数齿轮。目前生产中20CrMoMn钢零件常用的工艺是在渗碳后先炉冷到550℃出炉空冷，随后重新入炉加热淬火。由于渗碳后需炉冷到一定温度才能出炉，出炉温度越低对工件表面减少氧化脱碳越有利，而炉温越低，工件降温速度也就越慢；另一方面，由于工件进炉淬火加热时需经过一段建立炉气碳势的时间，才能确保淬火后工件的表面质量。因此目前这种热处理工艺耗费时间较长。)