江苏光刻板常用解决方案 制版厂
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!掩膜(MASK):全称单片机掩膜,是指程序数据已经做成光刻版,在单片机生产的过程中把程序做进去。优点是:程序可靠、成本低。缺点:批量要求大,每次修改程序就需要重新做光刻板,不同程序不能同时生产,供货周期长。光罩(英文:Reticle,Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像至相片上。光刻掩膜版(又称光罩,英文为MaskReticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过***过程将图形信息转移到产品基片上。1)绘制生成设备可以识别的掩膜版版图文件(GDS格式)2)使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式***(***波长405nm),照射掩膜版上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应3)经过显影、定影后,***区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层4)使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。但随着显影液pH值的降低,碱液对氧化层和涂层树脂的腐蚀力下降,版材的网点再现性及耐印力比用新配制的显影液好一些。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。5)在有必要的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。)
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