北京润诚科技公司代理销售美国ALIO公司精密***平台系列产品，欢迎用户来电来函垂询相关技术资料。美国ALIO公司的高科技精密平台产品，采用压电陶瓷马达，直线和旋转运动达到纳米级的精密***。产品特点：高分辨率（5nm）、高精度、高速度（250mm/sec）、行程大（12mm-400mm）、整定时间小、无迟滞现象、不产生电磁干扰、适用于多种工作环境（大气、无尘、真空环境中应用）。产品分类如下:§并联结构精密工作台§直线***平台和回转***平台§真空系统应用平台§气体轴承平台§步进电机平台§手动直线***和回转***平台真空系统应用平台提供适用两种真空度（10e-7托或10e-10托）的精密平台，***高工作温度为100度，***高烘培温度为135度。直线***平台参数（真空型）行程12mmto400mm负载力3.5Nto70.4N分辨率5nm,10nm,20nm,50nm,100nm,500nm,1micron,and5micron重复性分辨率的2-3倍（取决于运动参数）回转***平台参数（真空型）旋转角度360度重复性分辨率的2-3倍（取决于运动参数）精度1arcsecto5arcsec6维并联结构平台运动空间10mmcubeto100mmcube分辨率5nm重复性50nmattoolcenterpoint)