ALIO并联结构精密工作台
北京润诚科技公司代理销售美国ALIO公司精密***平台系列产品,欢迎用户来电来函垂询相关技术资料。美国ALIO公司的高科技精密平台产品,采用压电陶瓷马达,直线和旋转运动达到纳米级的精密***。产品特点:高分辨率(5nm)、高精度、高速度(250mm/sec)、行程大(12mm-400mm)、整定时间小、无迟滞现象、不产生电磁干扰、适用于多种工作环境(大气、无尘、真空环境中应用)。产品分类如下:§并联结构精密工作台§直线***平台和回转***平台§真空系统应用平台§气体轴承平台§步进电机平台§手动直线***和回转***平台并联结构精密工作台分辨率5nm,Z轴行程15mm—200mm,***大运动速度200mm/秒,负载0.25kg-20kg,6个自由度或3个自由度运动。SingleSidedMotorHexapods型号AI-HEX-HR2-SSAI-HEX-HR4-SSAI-HEX-HR8-SSZ轴行程25mm45mm60mm标准Z轴负载力54N96N192N分辨率5nm5nm5nm***大速度200mm/sec200mm/sec200mm/sec沿XYZ轴运动角度+/-20deg.+/-20deg.+/-20deg.尺寸(mm)Φ204/129to154htΦ265/193to238htΦ295/188to248htDualandQuadMotorHexapods型号AI-HEX-HR2AI-HEX-HR4AI-HEX-HR8AI-HEX-HR8-DZ轴行程50mm55mm105mm175mm标准Z轴负载力96N192N384N768N分辨率5nm5nm5nm5nm***大速度200mm/sec200mm/sec200mm/sec200mm/sec沿XYZ轴运动角度+/-18degrees+/-18degrees+/-20degrees+/-20degrees尺寸(mm)Φ295/183to233htΦ331/189to244htΦ475/340to445htΦ762/511to686htTripodHexapods型号AI-TRI-HR2-SSAI-TRI-HR2AI-TRI-HR4AI-TRI-HR8Z轴负载力24N48N96N192NZ轴行程27.5mm45mm45mm100mm沿XY轴运动角度+/-30deg+/-30deg+/-28deg+/-30deg分辨率5nm5nm5nm5nm)
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