第三代：低温等离子技术主要原理是，通过给气体外加电压至气体的放电电压，使气体被击穿，产生各种强氧化性的低温等离子。空气净化工程在提高产品质量等方面有很明显的效果，据国外文献的报导，对于半导体在10000级和l00级洁净室中制造的产品通过耐压试验，在l00级洁净室和外大气环境中进行晶体管涂布扩散，100级洁净室中产品的性能分布集中，而且峰值出现在更的地方。而在大气环境中的产品的性能极为分散，性能也极不稳定。可以看出，①有无空气净化，产品成品率有很大差别，②为了提高产品质量，不仅生产产品的环境需要洁净，而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行。净化工程主要的技术特征和优点空调制冷迅速,节能显著：通常,洁净室的温度调节都是由***空调将空气冷却后再送到洁净室。种方法需要大量风管进行长距离送风，沿途阻力式损失和温度损失造成很大的能源损耗。此外，也有将空调机装在专用回风直管内，再由风机和风管将空气送到送风口的方法，这种方法虽然省去了中央空调，便是仍然需要专用的风机和风管，结构复杂，成本高，占用有限的空间，不便于维修和操作空调机，风机和风管所造成的能源损失也较大。本方案采用冷风管直接送风的方式，将空调机产生的冷风直接送到洁净空气主流区，冷风的行程和i短，冷风量集中，不须专用管阀件，节约了***，安装也更简单。更重要的是减少了这些管阀件的阻力损失和温度损失，达到提率节约能源的目的。空调净化工程的节能措施要点说明从电气控制系统谈节能：净化空调系统的特点是大风量，造成了它的高能耗，而合理的设计和管理能够在保证良好室内环境的前提下，还能大幅地降低运行成本。之前调节风量和风压，是通过通风管道上的风门调节，但是对风量是种很大的浪费，从节能的角度来说是很不经济的，而目前使用较多的就是变频控制系统节能。风机为变负载设备，风机的转速直接影响负载的大小，降低风机的风量和风压后，就能达到节能的目的。这类负载增加调速系统后，可以节约20%~30%的电能，节能效果还是非常可观的，而且一般的调速性能就能满足风机对调速范围和动态性能的要求。)