电子气体多以集中式供应为趋势电子气体多以集中式供应为趋势，特种气体集中放置在气体房。输送系统的数量是根据机台对流量的需求进行合理配置。特气输送设备必须采用全自动切换供气，而且多设计了备用设备。对于低蒸汽压气体（等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精准控制流量，在气源端一般会考虑配置精度的压力变送器，电子秤，温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计。对于大流量的不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑气体经过调压阀减压后的焦耳汤普逊效应。氧分子结构氧原子中含有二个示成对的电子。氧原子的电子层构型是1S22S22P4。对氧分子结构的认识有两种方法，即电子配对法和分子轨道法。按照电子配对法，氧分子应该以双键结合。它所含有的电子应当是成对的。即氧分子应是一个抗磁性分子，它的电子自旋量子数的总和等于零，即不含有自旋未成对电子的分子。通过对O2的光谱研究，了解到它含有两个自旋平行的电子，对O2分子磁性的测定，证明氧是个顺磁性分子。顺磁性分子，是指自旋量子数的总和不等于零的分子。***气是一种惰性气体，现在广泛应用于工业行业，是一种很有用的稀有气体，***气性质非常不生动，它既不能焚烧，也不能助燃，因而稳定性很好，***气不会发生化学反应而爆燃爆，只有可能因为科拉贝隆推导公式的压强改变而燃爆。***气罐很结实，也不会像煤气罐那样单片横飞，ArF是有的，但温度改变不大，一般情况下，乃至高温高压下都没有问题。高纯***气的***履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。***气是采用空气分离提***，即将液化的空气进行精馏,得到粗***.抽出粗***,经进一步提纯可得到高纯***，高纯***在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气.***被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。)