PSA制氧设备制氧机，生产氮气（或液氮）和、-氦、-氙等混合气体的一种成套设备。在一般情况下，空气分离设备多用来生产氧气。变压吸附真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，即穿透大气压的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~94%)。VPSA能耗较低,设备越大其能耗越低。普通工业制氧机采用国产压缩机，皮碗寿命较短，气体流量也较小，直接影响整机的使用寿命。变压吸附制氧机主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后,被罗茨鼓风机增压至0.3-0.5barg而进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂,其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附,随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。变压吸附制氧设备通常有两只吸附塔，一只吸氮产氧，另一只脱氮再生，如此交替循环不断产出氧气。而氧气(包括气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐。PSA制氧设备当变压吸附制氧机吸附器吸附到一定程度,其中的吸附剂将达到饱和状态,此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反),真空度为0.65-0.75barg。已吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分被抽出并排至大气,吸附剂得到再生。整体清洗吹扫方法：不需要一步吹扫，例如及时保护和维护只需关闭膨胀机，释放上、下柱液位，用压缩空气加热氮气发生器(分馏塔部分)，然后用压缩空气加热氮气发生器。变压吸附制氧机的每个吸附器都交替执行以下步骤:---吸附---解吸---冲压上述三个基本的工艺步骤由PLC和切换阀系统来实现自动控制。)