低压化学气相沉积加工过程中的常见故障排除低压化学气相沉积加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如低压化学气相沉积前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。低压化学气相沉积加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。低压化学气相沉积故障的发生都与操作工***技能和工作责任心有关。低压化学气相沉积生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,低压化学气相沉积使得故障在所难免。但水电镀有个缺陷，只能镀ABS料和ABSPC料(此料镀的效果也不是很理想)。要减少低压化学气相沉积生产故障，提高低压化学气相沉积从业人员的***技能和工作责任心是十分重要的。Parylene在电子产品领域的优点:恶劣环境下线路板保护涂层，列入美军标MIL-I-46058C；满足IPC-CC-830B涂敷过程中不存在任何液态，无普通液体防护涂层的难以避免的流挂，气孔、厚薄不均等严重缺陷；*水分子透过率极低，仅为常见的有机硅树脂的千分之一；*聚合生长的成膜方式阻止了离子在涂层和基板界面的扩散，消除了常见的涂层下枝状腐蚀。*表面憎水特性进一步降低潮湿和离子污染的不利影响；*渗入芯片与基板间的微细间隙（甚至达10μm），提供完整的保护；*大幅增强芯片-基板间导线（25μm粗细）的连接强度；?微电子、半导体：使用高纯的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。?传感器和换能器：自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器，Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性，涂层无，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种恶劣环境。?Parylene适用于微机电(MEMS)、半导体领域之优点*能进行微米级微细制作和加工；*与其它微细结构材料有很好的相容性；*在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；*对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性)