光微电子一般净化工程包括：1，管理区（包括办gong，职责，管理和休息）2，器件区域（包括空气调节系统应用领域，电器的建筑物，高水和高纯度气体空间，设备间热和冷）光微电子净化工程材料重力平地面可以是环氧树脂地板或地板高耐磨塑料，抗静电涂层是必需的，抗静电的类型的选择。空气净化治1疗方案的净化工程空气过滤器装置的选择和安装，应满足：首先空气过滤器应选择上油过滤器;效率空气过滤器应提供浓缩清洗空调系统压力部;HEPA过滤器或亚效空气过滤器应被布置在净化空调系统终端，空气过滤器的安装应简单可靠，应该泄漏检测和替换;实际上，亚，空气过滤器应根据额定风来选择;相似性和效率HEPA过滤器应放置在同一车间纯化。具体是指在一定空间范围内，将空气中的微粒子、***空气、***等污染物予以有效排除，并且还能够使室内的各方面条件控制在相应的标准下，比如温度、洁净度、室内压力、气流速度、气流分布、噪音振动、照明、静电控制等。净化系统净化空气调节系统，并且除了DC风扇系统设置值班，将要采取的防止外界污染空气通过防止下沉在车间空气供给口引入净化措施。净化工程是基础产业配套产业非常广阔的应用，（21世纪）在电子信息，半导体，光电，精密制造，医1药，生物技术，航空航天，汽车涂装等众多工业中使用，并且根据行业所要求的精度干净，阶1级差别也是如此。1，清洁生产区域2，辅助洁净室（包括人员净化空间，材料和净化室与生命的室部分等）为吹扫空气调节系统的电加热的管状电加热器应使用，以设置在HEPA过滤器的上风侧的位置，并应具有防火安全措施。净化工程是基础产业配套产业非常广阔的应用，（21世纪）在电子信息，半导体，光电，精密制造，医1药，生物技术，航空航天，汽车涂装等众多工业中使用，并且根据行业所要求的精度干净，阶ji差别也是如此。)