影响镀膜机磁控靶点火电压的因素有哪些靶材对点火电压的影响(1)阴极靶材的不同材质，因溅射的能量阀值的不同，一般溅射“逸出功”较小的阴极靶材，其点火电压和工作的电压要低一些，反之则会高一些。(2)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁等)和铁素体靶材，会偏转和减少阴极溅射靶面磁场对磁控靶造成影响。靶面磁场的降低，使磁控靶需要很高的电压才能点火起辉。(3)点火电压与磁控靶靶材溅射面积和真空腔体的机械尺寸大小有关。靶材溅射面积大，或是真空腔体的机械尺寸大，相应充入工作气体的数量值较多，在同一阴-阳极电压下，工作气体例如气电离出导电正离子和电子亦增多，导致点火电压下降(在镀膜时还会造成磁控靶溅射电压一定程度上的降低)。磁控溅射镀膜靶电源的空载电压(1)靶电源输出的空载电压主要供磁控靶“点火起辉”用，其峰值电压大体可分为三挡，即：800V-1KV-1.2(或1.3)KV左右。(2)大约在5KW以下的靶电源输出空载电压的峰-峰值Vp-p一般在1~1.3KV左右;5KW以上的靶电源其输出的空载电压的峰-峰值Vp-p大约在800~1KV;且电源功率越大,其输出的空载电压越接近偏小值。(3)铁磁性靶材(铁、钴、镍、氮化铁)以及其它铁素体靶材，在选用靶电源输出的空载电压时，须选择靶电源输出空载电压峰-峰值Vp-p范围的偏大数值。真空镀膜机溅射镀膜与蒸发镀膜的区别：蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。溅射镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。真空镀膜机设备溅射镀膜又分为很多种，与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差（因为是脉冲溅射），晶向（外沿）生长的控制也比较一般。真空抽气系统的结构与工作原理高真空卷绕镀膜机的真空抽气系统由卷绕室抽气机组和镀膜室抽气机组组成。卷绕室抽气机组由1台油增压泵、2台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油增压泵作为主泵，以保证在达到10-1Pa的工作压力下有较大的抽气速率；镀膜室抽气机组由1台油扩散泵、1台罗茨泵、1台滑阀泵和1台旋片泵组成，油扩散泵作为主泵，以保证铝丝蒸发所需的10-2Pa真空状态。真空抽气系统由可编程PLC集中控制，在液晶触摸屏上进行操作，分为自动控制和手动控制两种模式。正常操作使用自动模式，PLC将根据在真空计中设定的各级真空值对各台真空泵的启动或停止、阀门的开启或关闭等功能实现自动控制。手动控制模式主要供调试和检修时使用，可以实现单独开闭各泵和阀门的操作。真空管道上的阀门均为气动控制阀，并采用电磁换向阀控制其开启或关闭，阀门上的气缸配有位置信号开关，方便控制系统对阀门的状态实施监控。在罗茨泵与滑阀泵的连接管道上装有气动充气阀，可供滑阀泵停止时向泵腔内充入大气之用，其开、闭动作与滑阀泵联动，由可编程PLC控制其滞后或提前的时间。镀膜室抽气方阀上装有气动放气阀，供卷绕结束时卷绕车退出前向真空室内充入大气之用，其开启动作和时间长短由可编程PLC控制。各个真空管道上装有真空测量规管座以提供可编程PLC和真空计所需的真空压力信号，同时为维修、检测真空系统各管道的压力提供方便。)