产品描述二维增量式平面光栅尺简介：1、二维线性测量光栅尺2、光栅周期20µm，玻璃盘3、测量范围可达105x89mm（更大可以定制）4、测量角度范围***大可达&plu***n;10’5、细分***大为×100，细分电路在15pinSub-D接头内6、读头尺寸精巧7、多种安装方式8、高分辨率、高精度9、高细分精度，信号可自动调整l10、每个测量方向一个原点信号技术参数：机械参数：1、读头重量：17g（不含线）2、可选分辨率：0.05µm、0.1µm、0.2µm、0.5µm、1µm、5µm3、速度参数：无细分电路－－max.600m/min--->10m/s细分数x50－－max.96m/min--->1.6m/s4、测量范围：长度－－105x89mm（更大可以定制）角度－－&plu***n;10’5、测量标准：材质－－玻璃，厚度1.1mm栅距－－20µm参考信号位置－－测量行程的起点处6、线性膨胀系数：8.5x10-6K-17、精度等级：&plu***n;5µm电子参数：1、扫描频率：max.500kHz2、输出信号：电压输出－－1VPP方波输出－－RS422（无细分）、RS422（×100细分）3、电源：5V&plu***n;10%4、电流损耗：电压输出－－80mA每相方波输出－－200mA每相5、线长：固定线长－－***长3m总长－－***大100m（延长线）使用环境：1、使用温度：0°C..+55°C2、储存温度：-20°C..+70°C3、湿度：93%RH(无冷凝）光栅读头尺寸图：光栅盘尺寸图：安装方式：主要市场金属加工设备半导体设备生物，***设备)