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TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪
产品特点:仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦***激光器,功率稳定波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。规格与主要技术指标:测量范围:1nm-4000nm折射率范围:1-10测量***小值:≤1nm入射角:20°-90°精度≤0.05°度盘刻度:每格1度允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm偏振器方位角范围:0°-180°外形尺寸:680*390*310mm测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005主机重量:26kg仪器测量精度:&plu***n;0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时)光学中心高度:80mm成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件成套性:主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机))