温度范围16至26℃温度漂移每小时2.0k每24小时5.0k温度梯度垂直方向1.0k/m水平方向1.0k/m型号C544C574测量范围X轴505mm(20")Y轴405mm(16")705mm(28")Z轴405mm(16")测长系统基准反射光栅分辨率0.0001mm(.000004")导向方式各坐标轴上的空气轴承测量精度(20℃&plu***n;1℃)ISO10360-2E=(1.9+3L/1000)μm(当使用TP200时)E=(1.7+3L/1000)μm(当使用SP600时)R=1.9μm(当使用TP200时)R=1.7μm(当使用SP600时)ANSI/A***EB89.1.球杆性能=9μm(.00036")重复精度=3μm(.00012")驱动速度CNC模式每轴***时驱动速度8mm/s至250mm/s(.31"/s至9.84"/s)(三轴移动时***大驱动速度430mm/s(16.93"/s))测量时驱动速度1mm/s至3mm/s(.04"/s至.12"/s)操纵杆模式0至80mm/s(3.15"/s)(高速模式)0至3mm/s(.12"/s)(低速模式)0.05mm/s(.002"/s)(微进给模式)*****大测量速度8mm/s***大测量加速度各轴加速度980mm/s2(38.58"/s2)(三轴移动时***大合成加速度1697mm/s2(66.81"/s2))工件***大高度545mm(21.46")***大重量180kg(396ibs.)质量515kg(1133ibs.)气压0.4Mpa空气消耗量50升/分(在正常条件下)或1.8CFM)