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纯度:99.99%,杂质含量(ppm):N2≤10.0,O2≤2.0,H2O≤3.0,CO≤1.0,CO2≤2.0,CH4≤1.0.纯度:99.999%,杂质含量(ppm):N2≤5.0,O2≤1.0,H2O≤1.0,CO≤1.0,CO2≤1.0,CH4≤1.0.)
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